配线形成装置、维修方法及配线形成方法

摘要

一种能够安定地形成配线图案之配线形
成装置，并提供其之维修方法，而提供配线形成方法。
配线形成装置(1)，系具备有雾化装置
(2)和喷嘴(3)以及将该些作连接之通连管(4)，并从喷嘴(3)而喷射雾化了的糊状材料以在基板(W)上进行配线图案之形成。配线形成装置(1)，系具备有对于通连管(4)内而供给第1维修气体之第1气体供给部(61)、和对于通连管(4)内进行吸引之吸引部(63)、以及对于通连管(4)内供给第2维修气体之第2气体供给部(65)。通连管(4)内之吸引和第2维修气体之供给系一并进行。又，系将第1维修气体之供给和第2维修气体之供给以及吸引，分别以在进行配线形成之空闲中而进行的方式来作控制，而构成为与配线图案之形成一同地来实施配线形成装置(1)之维修。

主权项

一种配线形成装置，系具备有将糊状材料雾化之雾化装置、和喷射藉由前述雾化装置而作了雾化的前述糊状材料之喷嘴、和将前述雾化装置和前述喷嘴作连接之通连管，并构成为将前述雾化后的糊状材料作涂布而进行配线形成，该配线形成装置，其特征为，系具备有：第1气体供给部，系被设置在前述通连管之与前述雾化装置间的连接部侧处，并将第1维修气体供给至前述通连管内；和吸引部，系被设置在前述通连管之与前述雾化装置间的连接部侧以及与前述喷嘴间的连接部侧之其中一方处，并对前述通连管内进行吸引；和第2气体供给部，系被设置在前述通连管之与前述雾化装置间的连接部侧以及与前述喷嘴间的连接部侧的并未被设置有前述吸引部者之连接部侧处，并将第2维修气体供给至前述通连管内。