基板涂胶设备

摘要

基板涂胶设备包含基板承载座、涂胶元件与清洁元件。基板承载座用以承载一基板。涂胶元件可移动地往返于基板与一闲置区。清洁元件可移动地位于基板与闲置区之间。清洁元件包含毛刷。毛刷位于涂胶元件往返于基板与闲置区的路径上，用以接触涂胶元件。

主权项

一种基板涂胶设备，包含：一基板承载座，用以承载一基板；一涂胶元件，可移动地往返于该基板与一闲置区；一清洁元件，可移动地位于该基板与该闲置区之间，且包含：一毛刷，位于该涂胶元件往返于该基板与该闲置区的路径上，用以接触该涂胶元件；以及一毛刷固定座，承载该毛刷；以及一轨道，耦合于该毛刷固定座，该轨道实质垂直于该涂胶元件往返于该基板与该闲置区的路径。