气体喷淋用构造体及基板处理装置

摘要

明关于一种气体喷淋用构造体及基板处理装置，该构造体系于顶板层积基底板所构成，而于处理氛围下喷淋状地供应气体，其可将两板的压接力设定为适当的大小而不会受到组装误差的影响，且可防止用以固定两者之固定组件与顶板之间的摩擦。该构造体系从顶板下面侧插入螺丝组件来使其螺合于基底板，并于螺丝组件的头部与顶板之间介设有环状弹性体，而藉由弹性体的复原力来将顶板压接于基底板。此时该头部与顶板之间形成有间隙。进而于该头部的外缘侧介设有环状弹性体之状态下来将覆盖体被覆在该头部。其他实施例系使基底板较顶板的外缘要更突出，而以螺丝组件来将从顶板的外缘部横跨位在外侧之环状箝位组件与基底板的突出部分加以固定，并且于箝位组件与顶板之间介设有弹性体。

主权项

一种气体喷淋用构造体，系与处理容器内所配置之基板呈对向设置，而喷淋状地供应基板处理用气体，其特征在于具备有：板状体，系面向处理氛围配置，并穿设有多个气体喷出孔；基底组件，系压接并层积于该板状体，并于对应于该气体喷出孔之位置处穿设有气体喷出孔；金属制螺丝组件，系用以将板状体夹在与该基底组件之间，从板状体侧插入而螺合于基底组件，而将该板状体压接于基底组件；及压接用弹性体，系介设于该板状体之处理氛围侧的面与该螺丝组件的头部之间，并藉由螺丝组件接近板状体而产生变形以使复原力加以作用；覆盖体，系被覆于该螺丝组件之头部，由用以防止因处理氛围而导致螺丝组件受到损伤之材质所构成；覆盖体用弹性体，系设置于该螺丝组件头部的周缘与该覆盖体的内面之间，用以吸收螺丝组件与覆盖体的热膨胀差；其中系藉由该压接用弹性体的复原力来将板状体压接于基底组件，而在该螺丝组件与板状体之处理氛围侧的面之间形成有间隙。