排气处理装置用内筒

摘要

计的物品是排气处理装置用内筒。
本物品是由氧化铝材质之类的陶瓷所制成，如「使用状态参考图」所示，系在半导体、液晶、太阳能电池制造工序、或其他工序中作为排气分解处理的排气处理装置中，本物品是形成燃烧室的内壁的零件，并做定期的更换使用。
后视图、左侧视图、右视图与前视图对称，均省略之。
仰视图与俯视图对称，仰视图省略。