气体分配板及包含此气体分配板之基板处理设备

摘要

体分配板，安装于设有反应空间的腔室中，将反应气体供应至载置于基板载置板上的基板上，其中该气体分配板包括：第一及第二表面，其相向配置，其中，该第二表面朝向该基板载置板，并具有一凹部形状；及复数个注入孔，各该注入孔包括：一入流部分，从该第一表面朝向该第二表面延伸；一扩散部分，从该第二表面朝向该第一表面延伸；及一孔口部分，系介于该入流部分与该扩散部分之间，其中，该复数个注入孔之复数个入流部分的气体通道从该气体分配板的边缘往中间缩短，且其中，该复数个注入孔之复数个扩散部分具有实质相同的气体通道。

主权项

一种气体分配板，其系安装于设有一反应空间的一腔室中，并将一反应气体供应至载置于一基板载置板上的一基板上，该气体分配板包含：第一及第二表面，其相向配置，其中，该第二表面朝向该基板载置板，并具有一凹部形状；及复数个注入孔，各该注入孔包括：一入流部分，从该第一表面朝向该第二表面延伸；一扩散部分，从该第二表面朝向该第一表面延伸；及一孔口部分，系介于该入流部分与该扩散部分之间，其中，该复数个入流部分的高度在一气体通道方向上从该气体分配板的边缘往中间缩短，且其中，该复数个扩散部分在该气体通道方向上具有实质相同的尺寸。