固持装置、搬送装置、处理装置、及电子器件之制造方法

摘要

形态之固持装置具备固持部，该固持部具有：第1固持板，系具有抵接于被处理物之周缘之第1固持体；及第2固持板，系具有抵接于前述周缘之第2固持体；且为使前述第1固持体与前述第2固持体互相接近离开，使前述第1固持板及前述第2固持板之至少一方移动。又再者，固持装置具备：使前述固持部升降之升降部；及动作控制部，系控制前述固持部之开闭动作、及前述升降部之升降动作。并且，前述动作控制部依序机械性地控制第1升降动作、前述开闭动作、与前述第1升降动作相同方向升降之第2升降动作。

主权项

一种固持装置，其特征在于：其系使固持板开闭动作而固持被处理物之周缘者，包含：固持部，其包含：第1固持板，系包含与前述周缘抵接之第1固持体；及第2固持板，系包含与前述周缘抵接之第2固持体；且为使前述第1固持体与前述第2固持体互相接近离开，使前述第1固持板及前述第2固持板中至少一方移动；升降部，其使前述固持部升降；及动作控制部，其控制利用前述固持部之开闭动作与利用前述升降部之升降动作；且前述动作控制部依下序机械性地控制第1升降动作、前述开闭动作、及向与前述第1升降动作相同方向升降之第2升降动作；且前述第1升降动作与前述第2升降动作为上升动作之情形时，前述开闭动作系使前述第1固持体与前述第2固持体抵接于前述被处理物之周缘之动作。