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Wärmeleitfähigkeitsdetektor mit einem Balken (6), der in der Mitte und in Längsrichtung eines Kanals (5) von einem Fluid umströmbar angeordnet und einseitig an einem den Kanal (5) durchquerenden Träger (7) gehalten ist, welcher beiderseits der Verbindung mit dem Balken (6) jeweils einen Trägerarm (8, 9) aufweist, wobei der Balken (6) und der Träger (7) aus dotiertem Silizium (11) bestehen und auf einer Seite unter Zwischenlage einer Isolierschicht (12) eine Metallschicht (13) tragen, die in einem Bereich (14) eines der Trägerarme (8, 9) unterbrochen ist und dort an der zu dem Trägerarm (8) nahen Seite sowie an dem freien Ende des Balkens (6) jeweils durch die Isolierschicht (12) hindurch mit dem dotiertem Silizium (11) kontaktiert ist. |
