動径基底関数ネットワークおよび超立方体を使用した半導体処理機器における偏位の分類

摘要

第１のノードを作成することと、第１のノードの第１の超立方体を決定することと、サンプルが第１の超立方体内に存在するか否かを決定することとを含む、データを解析するための方法及びシステム。サンプルが第１の超立方体内に存在しない場合、この方法は、サンプルが、第１の超立方体の対角線に等しい半径を有する第１の超球内に存在するか否かを決定することを含む。【選択図】図２