发明名称 バナジウムドープ単結晶およびその成長方法
摘要 【解決手段】 昇華成長されたSiC単結晶は、SiC単結晶の成長中にSiC単結晶の成長環境中にガス状バナジウムを導入することによってSiC単結晶構造中に包含される、バナジウムドーパントを含む。【選択図】図10A
申请公布号 JP2016507467(A) 申请公布日期 2016.03.10
申请号 JP20150559228 申请日期 2013.11.12
申请人 トゥー‐シックス・インコーポレイテッド 发明人 ツビーバック,イルヤ;アンダーソン,トーマス,イー.;グプタ,アヴィネッシュ,ケー.;ノーラン,マイケル,シー.;ブロハード,ブライアン,ケー.;ルーランド,ゲイリー,イー.
分类号 C30B29/36 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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