| 摘要 |
롤러베어링을 포함하는 웨이퍼 및 그 제조방법이 게시된다. 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼(100)는, 서로 상대운동 하는 상판(110)과 하판(120)을 구비하고, 상판(110)과 하판(120) 사이에 롤러베어링(130)을 장착하는 웨이퍼(Wafer, 100); 및 상기 웨이퍼(100)의 상판(110)과 하판(120) 사이에 장착되고, 일측에 일정 간격의 갭(gap, 131)이 형성된 'C'자형 횡단면 구조를 가지는 튜브(tube) 형태의 롤러베어링(roller bearing, 130);을 포함하고, 상기 웨이퍼(100)는: 하판(120)에 롤러베어링(130)이 움직일 수 있는 홈(121)을 제작한 후, 하부면에 인슐레이터층(insulator layer)이 형성된 상판을 하판 상부에 부착시켜 롤러베어링(130)을 압축한 상태로 홈(121)에 위치시키고, 인슐레이터층(insulator layer, 140)을 제거하는 공정에 의해 롤러베어링(130)을 원래 상태로 복원시켜 롤러베어링(130)이 동작하도록 하는 제조방법에 의해 제작되고, 상기 롤러베어링(130)의 외경(D)은 하판(120)에 형성된 홈(121)의 깊이(d)와 인슐레이터층(140)의 두께(t)의 합과 동일한 것을을 구성의 요지로 한다. |
