| 摘要 |
프로빙 방법이 개시된다. 웨이퍼 프로빙 방법으로는 우선, 제N 번째 웨이퍼를 스테이지에 놓는다. 이어, 제N 번째 웨이퍼 상면의 제1 중앙 지점과 제1 중앙 지점을 기준으로 각각 서로 대칭인 제1 상하 지점들 및 제1 좌우 지점들인 총 5개의 제1 지점들에서 설정 패턴이 검색되도록 스테이지를 통해 제N 번째 웨이퍼를 x축 및 y축으로 정렬시킨다. 이어, 제N 번째 웨이퍼를 제1 지점들에서의 위치들을 통해 프로빙한다. 이어, 제N 번째 웨이퍼를 스테이지로부터 외부로 이송한다. 이어, 스테이지에 제N 번째 웨이퍼에 연속적으로 후속되는 제N+M 번째 웨이퍼를 놓는다. 이어, 제N+M 번째 웨이퍼 상면의 제2 중앙 지점과 제2 중앙 지점을 기준으로 각각 서로 대칭인 제2 상하 지점들 중 어느 하나 및 제2 좌우 지점들 중 어느 하나인 총 3개의 제2 지점들에서 설정 패턴이 검색되도록 스테이지를 통해 제N+M 번째 웨이퍼를 x축 및 y축으로 정렬시킨다. 이어, 제N+M 번째 웨이퍼를 제2 지점들에서의 위치들을 통해 프로빙한다. |
