发明名称 3D-integrierte monolithische Schaltung und zugehörige elektronische Bauteile zur Regelung der Leistungsbelastung eines MOS-Leistungstransistors
摘要 Die Schrift beschreibt bipolare elektronisches Bauelemente (Poly_Da, Poly_Db), die in einem CMOS-Prozess in polykristallinem Silizium (PSD) gefertigt sind. Die bipolaren Bauelemente (Poly_Da, Poly_Db) weisen zumindest einen n-dotierten Bereich (n_poly_a, n_poly_b) und zumindest einen p-dotierten Bereich (p_poly_a, p_poly_b) auf. Durch eine Silizidierung (sil_m) ist sichergestellt, dass ein Stromfluss bei Anlegen einer Spannung von einem ersten p-dotierten Bereich (p_ploy_a) in einen zweiten n-dotierten Bereich (n_poly_b) möglich ist. Ein erfindungsgemäßes Bauelement (Poly_Da, Poly_Db) ist bei Nichtberücksichtigung seiner Verdrahtung (sil_m, sil_b, sil_a), die zur Nutzbarmachung des Bauelementes (Poly_Da, Poly_Db) in einer Verschaltung notwendig ist, ohne diese Verdrahtung elektrisch isoliert gegenüber anderen Bauelementen. Weitere Ausprägungen des erfindungsgemäßen Bauelements (Poly_Da, Poly_Db) weisen einen schwach oder undotierten Bereich (i_poly_a, i_poly_b) auf. Bei dem bipolaren Bauelement kann es sich insbesondere um eine Poly-Silizium-PN-Diode (Poly_Da, Poly_Db) (eine PN-Diode), eine Poly-Silizium-PIN-Diode, einen Poly-Silizium-PNP-Transistor oder einen Poly-Silizium-NPN-Transistor handeln. Der Anschluss und die Zusammenschaltung mit anderen gleichartigen Bauelementen erfolgt vorzugsweise durch silizidiertes polykristallines Silizium (sil_m). In einer weiteren Ausprägung weist das Bauelement ein thermisches Fenster (twd) auf über das es beispielsweise thermisch mit dem Substrat eines MOS-Transistors thermisch leitend verbunden ist. Ganz besonders bevorzugt ist das bipolare elektronische Bauelement (Poly_Da, Poly_Db) oberhalb der Gate-Elektrode (G) eines MOS-Transistors gefertigt, wenn das Substrat (Sub) unten angeordnet ist. Die entsprechenden Schaltkreise auf Basis dieser Bauelemente werden angesprochen
申请公布号 DE102014013482(A1) 申请公布日期 2016.03.10
申请号 DE20141013482 申请日期 2014.09.08
申请人 ELMOS SEMICONDUCTOR AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ROTTER, THOMAS,;SUDHAUS, ANDRE,
分类号 H01L29/73;G01K7/01;H01L27/06;H01L27/12;H01L29/861 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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