| 发明名称 |
Substrathalter, Plasmareaktor und Verfahren zur Abscheidung von Diamant |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Substrathalter (1) mit einer Grundplatte (2), auf welcher eine Mehrzahl von hervorstehenden Pfosten (3) angeordnet ist, welche jeweils durch Zwischenräume (25) voneinander beabstandet sind. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Plasmareaktor zur Abscheidung von Diamant (5) aus der Gasphase (55) mit einem solchen Substrathalter und ein Verfahren zur Abscheidung von Diamant aus der Gasphase. |
| 申请公布号 |
DE102014223301(B3) |
申请公布日期 |
2016.03.10 |
| 申请号 |
DE201410223301 |
申请日期 |
2014.11.14 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
NEBEL, CHRISTOPH;MÜLLER-SEBERT, WOLFGANG;WIDMANN, CLAUDIA;HEIDRICH, NICOLA;SCHREYVOGEL, CHRISTOPH |
| 分类号 |
C23C16/458;C23C16/27;C30B25/12 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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