| 发明名称 | 陶瓷板与金属制圆筒部件的接合结构 | ||
| 摘要 | 半导体制造装置用部件具备作为AlN制陶瓷板的基座10和与基座10接合的气体导入管20。在基座10中与气体导入管20的凸缘22相对的位置上，形成有环状的管接合用倾斜部14。此外，在凸缘22与管接合用倾斜部14之间，形成有管钎焊部24。凸缘22的宽度为3mm以上，厚度为0.5mm以上2mm以下。管接合用倾斜部14的高度优选为0.5mm以上，与凸缘22的外缘相对置的角的倒角在为C倒角时优选为C0.3以上，在为R倒角时优选为R0.3以上。 | ||
| 申请公布号 | CN105392758A | 申请公布日期 | 2016.03.09 |
| 申请号 | CN201580001225.1 | 申请日期 | 2015.03.10 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 片居木俊;谷村昂 |
| 分类号 | C04B37/02(2006.01)I;B23K1/19(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | C04B37/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;金鲜英 |
| 主权项 | 一种接合结构，其是陶瓷板与金属制的圆筒部件的接合结构，其具备：形成于所述圆筒部件的端部的凸缘、设置于所述陶瓷板中与所述凸缘相对置的位置的环状的倾斜部、以及形成于所述凸缘与所述倾斜部之间的钎焊部，所述凸缘的宽度为3mm以上，厚度为0.5mm以上2mm以下，所述倾斜部中，与所述凸缘的外缘相对置的角的倒角为C倒角或R倒角。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||