| 摘要 |
고굴절률, 고투명성의 특성을 손상시키지 않고, 실온에 있어서의 장기 보관 후에도 노광에 있어서 높은 감도를 갖고, 패턴 형성 후의 해상성, 내용제성이 우수한 포지티브형 감광성 수지 조성물을 개발한다. 본 발명은 특정 오르가노실란과 카르복실기 및/또는 디카르복실산 무수물 구조를 갖는 오르가노실란을 가수분해하고 부분 축합시킴으로써 합성되는 폴리실록산, (d) 알루미늄 화합물, 주석 화합물, 티탄 화합물 및 지르코늄 화합물에서 선택되는 1 이상의 금속 화합물의 입자, 또는 알루미늄 화합물, 주석 화합물, 티탄 화합물 및 지르코늄 화합물에서 선택되는 1 이상의 금속 화합물과 규소 화합물의 복합 입자, (b) 나프토퀴논디아지드 화합물, 및 (c) 용제를 포함하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물이다. |
