一种射频阻抗自动匹配装置及方法

摘要

本发明公开了一种射频阻抗自动匹配装置及方法，属于微电子技术领域。所述装置包括：第一及第二真空电容检测机构、第一及第二信号变送器、功率计和单片机。第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，功率计与第二信号变送器电连接，单片机的输入端分别与第一信号变送器和第二信号变送器的输出端电连接，单片机的控制输出端分别与第一、第二真空电容检测机构的输入端电连接。本发明还提供了上述射频阻抗自动匹配装置的匹配方法。本发明可以使匹配过程自动、迅速，同时兼容人工手动操作，可以实现自动和人工手动操作达到匹配负载的目的。

主权项

一种射频阻抗自动匹配装置，其特征在于，包括第一真空电容检测机构、第二真空电容检测机构、第一信号变送器、第二信号变送器、功率计和单片机，所述第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，所述功率计与第二信号变送器电连接，所述单片机的输入端分别与所述第一信号变送器和第二信号变送器的输出端电连接，所述单片机的控制输出端分别与所述第一、第二真空电容检测机构的输入端电连接；所述第一、第二真空电容检测机构均包括电位器、通轴连接杆、真空电容、减速机、步进电机和手轮，所述电位器通过所述通轴连接杆与所述真空电容的输出端连接，所述真空电容的输入端与所述减速机的输出轴连接，所述减速机的输入轴通过所述通轴连接杆与所述步进电机的输出轴连接，所述步进电机输出轴的另一端通过所述通轴连接杆连接所述手轮。