溅射靶的喷涂再生

摘要

在各个实施方案中，将用过的溅射靶通过在靶材喷涂沉积期间维持喷涂沉积枪(320)与靶的凹陷的表面外形(330)之间的大的倾斜角(300)来至少部分地翻新。

主权项

一种翻新具有经侵蚀区域的经侵蚀的溅射靶的方法，所述经侵蚀区域具有呈非平面的和限定了最大表面深度的凹陷的表面外形，所述经侵蚀的溅射靶包含靶材，所述方法包括：将喷涂沉积枪放置在所述经侵蚀区域之上，并在第一个位置处开始靶材粒子射流的喷涂沉积，以部分地填充所述经侵蚀区域，所述喷涂沉积枪与直接在其之下的经侵蚀区域之间的倾斜角为45°或更大；以及在(i)相对于所述经侵蚀的溅射靶来平移所述喷涂沉积枪，(ii)将所述倾斜角变成选自45°至90°的范围的多个不同的值，和(iii)在所述经侵蚀的溅射靶之上的每个位置处均基于所述位置处的经侵蚀区域的深度来控制所述靶材粒子的沉积速率的同时，通过喷涂沉积所述靶材粒子来填充所述经侵蚀区域。