| 发明名称 | 激光晶化装置及用其制造薄膜晶体管阵列面板的方法 | ||
| 摘要 | 激光晶化装置包括：产生激光束的激光发生器，激光束指向处理目标基板；和位于处理目标基板上方的刀片构件，刀片构件被配置为在两个方向上以预定宽度切断激光束，其中激光束的被刀片构件切断的两个末端作为衍射光照射到处理目标基板。 | ||
| 申请公布号 | CN103377891B | 申请公布日期 | 2016.03.09 |
| 申请号 | CN201310059430.6 | 申请日期 | 2013.02.26 |
| 申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 秋秉权;朴喆镐;李权炯;表圣哲 |
| 分类号 | H01L21/268(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/268(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 于未茗;康泉 |
| 主权项 | 一种激光晶化装置，包括：产生激光束的激光发生器，所述激光束指向处理目标基板；和位于所述处理目标基板上方的刀片构件，所述刀片构件被配置为以预定宽度切断所述激光束的长度方向上的两个末端，所述刀片构件具有其中多个刀片重叠的多层结构，其中所述激光束的被所述刀片构件切断的两个末端作为衍射光照射到所述处理目标基板。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||