| 发明名称 | 制程水装置 | ||
| 摘要 | 一种制程水装置，包括：水槽，所述水槽用于承载液体，所述液体用于对半导体制造工艺装置进行热置换；位于水槽内的冷水管道，所述冷水管道部分或全部位于水槽内的液面以下，所述冷水管道用于冷却水槽内的液体；位于所述水槽侧壁的注水口，液体通过所述注水口注入水槽内；固定于所述水槽外壁表面的漏水检测装置，所述漏水检测装置的位置与注水口的位置对应，所述漏水检测装置用于检测所述注水口是否漏水，并在所述注水口漏水达预设量时发出检测信号；控制装置，用于接收所述漏水检测装置发出的检测信号，以停止工艺装置的工作。制程水装置安全性提高。 | ||
| 申请公布号 | CN103307847B | 申请公布日期 | 2016.03.09 |
| 申请号 | CN201310204989.3 | 申请日期 | 2013.05.28 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 王华钧;解毅;何雅彬;朱义党;胡可绿;郑修锋;忻圣波 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种制程水装置，其特征在于，包括：水槽，所述水槽用于承载液体，所述液体用于对半导体制造工艺装置进行热置换；位于水槽内的冷水管道，所述冷水管道部分或全部位于水槽内的液面以下，所述冷水管道用于冷却水槽内的液体；位于所述水槽侧壁的注水口，液体通过所述注水口注入水槽内；固定于所述水槽外壁表面的漏水检测装置，所述漏水检测装置的位置与注水口的位置对应，所述漏水检测装置用于检测所述注水口是否漏水，并在所述注水口漏水达预设量时发出检测信号；控制装置，用于接收所述漏水检测装置发出的检测信号，以停止工艺装置的工作。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||