发明名称 |
硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法及其应用 |
摘要 |
本发明公开了一种硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法,首先将硅片切割时产生的废砂浆进行回收,将聚乙二醇提取出来另用,剩余的含有碳化硅和硅粉的浆料制成滤饼,晾晒至水分小于10%后,破碎成粒度小于3mm的颗粒料,经化学分析确定其中的总硅含量后分类库存待用;称取粘合剂和润湿剂,与颗粒料混合后制成粒径小于50mm的坯料,入炉烘焙,待其水分小于2%时冷却出炉,得到理化指标为:T<sub>Si</sub>=30~70%,Tc=10~25%,S≤0.1%,H<sub>2</sub>O≤2%的复合硅碳球成品。本发明制造工艺简单,实现了硅片切割加工过程中产生的副产品-废砂浆中所含资源的综合利用,大大减少了环境污染,产生了较大的经济效益和社会效益。 |
申请公布号 |
CN105385807A |
申请公布日期 |
2016.03.09 |
申请号 |
CN201510663660.2 |
申请日期 |
2015.10.15 |
申请人 |
郑州新达冶金技术有限公司 |
发明人 |
池震宇 |
分类号 |
C21C7/06(2006.01)I |
主分类号 |
C21C7/06(2006.01)I |
代理机构 |
郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 |
代理人 |
王霞 |
主权项 |
一种硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法,其特征在于包括下述步骤:第一步,将硅片切割时产生的废砂浆进行回收,按常规方法将其中的聚乙二醇提取出来另用,得到含有碳化硅和硅粉的浆料;第二步,将第一步的浆料制成滤饼,晾晒至水分小于10%后,破碎成粒度小于3mm的颗粒料,经化学分析确定其中的总硅含量后分类库存待用;第三步,称取粘合剂和润湿剂,与第二步制成的颗粒料混合后制成粒径小于50mm的坯料,入炉烘焙,待其水分小于2%时冷却出炉,得到复合硅碳球成品;第四步,烘焙好的复合硅碳球成品筛去不合格的颗粒后送检并包装入库,成品复合硅碳球的理化指标为:T<sub>Si</sub> = 30~70%,Tc = 10~25%,S≤0.1%,H<sub>2</sub>O≤2%。 |
地址 |
450000 河南省郑州市桐柏南路228号凯旋门A座2003-2004室 |