金属膜形成方法

摘要

提供一种能够有利于工业上形成密合性优良的金属膜的金属膜形成方法以及通过其方法形成的金属膜。一种在基体上形成金属膜的金属膜形成方法，包括在氧化剂、胺化合物或者质子酸的有机溶剂中,使金属溶解或分散形成原料溶液，将原料溶液雾化产生雾的雾化工序，将载气提供给所述雾的载气供给工序,通过所述载气将所述雾提供给所述基体的供给工序和使所述雾热反应，在所述基体表面的一部分或者全部层积金属膜的金属膜形成工序。

主权项

一种在基体上形成金属膜的金属膜形成方法，其特征为，含有如下工序：在含有氧化剂、胺化合物或者质子酸的有机溶剂中,使金属溶解或分散而形成原料溶液，将该原料溶液雾化产生雾的雾化工序；将载气提供给所述雾的载气供给工序；通过所述载气将所述雾提供给所述基体的供给工序；以及使所述雾发生热反应，在所述基体表面的一部分或者全部层积金属膜的金属膜形成工序。