发明名称 |
Verfahren zur Entfernung von borhaltigen Verunreinigungen aus Silan |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1092893(B) |
申请公布日期 |
1960.11.17 |
申请号 |
DE1959U006509 |
申请日期 |
1959.09.18 |
申请人 |
UNION CARBIDE CORPORATION |
发明人 |
CASWELL EARL GLEN;LEFEVER ROBERT ALLEN |
分类号 |
C01B33/04;C23C16/22;H05G1/32 |
主分类号 |
C01B33/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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