发明名称 Verfahren zur Entfernung von borhaltigen Verunreinigungen aus Silan
摘要
申请公布号 DE1092893(B) 申请公布日期 1960.11.17
申请号 DE1959U006509 申请日期 1959.09.18
申请人 UNION CARBIDE CORPORATION 发明人 CASWELL EARL GLEN;LEFEVER ROBERT ALLEN
分类号 C01B33/04;C23C16/22;H05G1/32 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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