レジスト材料

摘要

【課題】高感度のレジスト材料を提供する。【解決手段】本発明のレジストパターン材料は、ベース樹脂および増感体前駆体を含有するレジスト組成物を含む。前記レジスト組成物は、第１エネルギービームの照射によって増感体を生成し、前記増感体によるレジスト反応を促進させる第２エネルギービームを、前記第１エネルギービームを照射することなく照射しても増感体を生成させない。【選択図】なし