| 发明名称 | 具有可变形膜片和阻抗较强变形的保护部的微机械结构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于测量或者探测机械量或者动态量的微机械机构，其包括能够变形的膜片(20)和支撑基板(10)，所述膜片(20)包括第一部分(20a)和由所述第一部分(20a)包围的第二部分(20b)，所述第二部分(20b)的厚度小于所述第一部分(20a)的厚度，所述膜片(20)悬置在所述支撑基板(10)之上，并且因此限定了自由空间(30)，所述微机械机构还另外包括下邻接支座(21)，所述下邻接支座(21)用于限制所述膜片(20)的变形，所述下邻接支座(21)布置在所述支撑基板(10)之上并且从所述支撑基板(10)朝着所述膜片(20)延伸到所述自由空间(30)中，其特征在于，所述下邻接支座(21)包括岛状体(101–108)，所述岛状体(101–108)从所述下邻接支座(21)的平坦表面朝着膜片(20)延伸到所述自由空间(30)中，所述岛状体(101–108)以这样的方式形成浮雕结构，从而在所述岛状体(101–108)和膜片(20)的精细部分(20b)接触的情况下，所述岛状体(101–108)和膜片(20)的精细部分(20b)之间的接触表面相对于膜片(20)的精细部分(20b)的尺寸是较小的。 | ||
| 申请公布号 | CN104024816B | 申请公布日期 | 2016.03.09 |
| 申请号 | CN201280052198.7 | 申请日期 | 2012.10.24 |
| 申请人 | 奥谢陶尔公司 | 发明人 | S·布里达 |
| 分类号 | G01L9/00(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I | 主分类号 | G01L9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 一种旨在测量或者探测机械量或者动态量的微机械机构，其包括能够变形的膜片(20)和支撑基板(10)，所述膜片(20)包括第一部分(20a)和由所述第一部分(20a)包围的精细部分(20b)，所述精细部分(20b)的厚度小于所述第一部分(20a)的厚度，所述膜片(20)悬置在所述支撑基板(10)之上，并且因此限定了自由空间(30)，所述微机械机构还包括下邻接支座(21)，所述下邻接支座(21)适于限制所述膜片(20)的变形，所述下邻接支座(21)布置在所述支撑基板(10)之上并且从所述支撑基板(10)朝着所述膜片(20)延伸到所述自由空间(30)中，其特征在于，所述下邻接支座(21)包括岛状体(101–108)，所述岛状体(101–108)从所述下邻接支座(21)的平坦表面朝着膜片(20)延伸到所述自由空间(30)中，所述岛状体(101–108)形成浮雕结构，从而使得在所述岛状体(101–108)与所述膜片(20)的精细部分(20b)接触的情况下，所述岛状体(101–108)与所述膜片(20)的所述精细部分(20b)之间的接触表面相对于所述膜片(20)的所述精细部分(20b)的尺寸是微小的。 | ||
| 地址 | 法国布尔日 | ||