靶材组件的制作方法

摘要

一种靶材组件的制作方法，包括：提供镍靶材坯料和背板，所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽；利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层；利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层；将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽，利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合，以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。本发明能够使超高纯镍靶材与背板进行可靠性结合，焊接效率高并且焊接缺陷率小，满足长期稳定生产、使用靶材的需要。

主权项

一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：提供镍靶材坯料和背板，所述镍靶材坯料的纯度至少为99.99％，所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽；利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层，所述形成第一钎料层的具体形成工艺条件为：保持具有钎料的镍靶材坯料的温度为220℃～230℃，保温25min～30min；利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层，所述形成第二钎料层的具体形成工艺条件为：保持具有钎料的背板的温度为220℃～230℃；将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽，利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合，以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件；所述钎料为无铅钎料，所述无铅钎料以Sn‑Ag、Sn‑Zn、或Sn‑Bi为基体。