高频电源装置

摘要

本发明提供一种高频电源装置，其将变压器(6)形成为大致U字形。由此，能够确保变压器(6)的长度，同时缩短变压器(6)的次级线圈的输入端和输出端、与半导体元件的控制端子之间的图案布线(12)。另外，平行地配置变压器(6)的初级线圈以及次级线圈。由此，初级线圈以及次级线圈的耦合度变大。在框体内收容除去感应线圈的LC谐振电路、开关电路以及变压器。在框体内设置水冷式的散热器，并且通过空冷风机一边将框体内的空气引导到散热器一边使其循环。本发明是一种通过增大反馈电压而不需要向半导体元件的控制端子供给直流偏置电压、能够防止装置内的部件被装置外的空气污染的、高可靠性、高效率、电路结构简单的高频电源装置。

主权项

一种自激振荡方式的高频电源装置，其特征在于，具备：直流电源；LC谐振电路，其包括等离子体生成用的感应线圈以及电容器；开关电路，其包括对从所述直流电源供给的直流电进行切换并提供给所述LC谐振电路的半导体元件；以及变压器，其具有所述LC谐振电路所包括的初级线圈、以及为了使所述半导体元件导通或截止而与该半导体元件的控制端子连接的次级线圈，所述变压器形成为大致U字形，所述变压器的所述初级线圈以及所述次级线圈平行地配置，在所述半导体元件的控制端子上与所述次级线圈并联地连接有电容器。