用于多几何误差量测量的光学装置、干涉系统及光学测量方法

摘要

本发明公开一种用于多几何误差量测量的光学装置，该光学装置由一干涉光学镜组和一反射光学镜组构成，该干涉光学镜组包括：第一光学单元，用于测量位移X及角度Rx，Ry，Rz；第二光学单元，用于测量直线度∆Y和测量直线度∆Z；基座组件，用于与该第一、第二光学单元连接；该反射镜组用于将来自该干涉光学镜组的光束原路返回且与入射光分开一定距离。本发明同时公开一种双频激光干涉测量系统和一种用于多几何误差量测量的光学方法。

主权项

一种用于多几何误差量测量的光学装置，其特征在于，所述光学装置由一干涉光学镜组和一反射光学镜组构成，所述干涉光学镜组包括：第一光学单元，用于测量位移X及角度Rx，Ry，Rz；第二光学单元，用于测量直线度∆Y和测量直线度∆Z；基座组件，用于与所述第一、第二光学单元连接；所述反射镜组用于将来自所述干涉光学镜组的光束原路返回且与入射光分开一定距离；所述干涉光学镜组包括四组分光组件，一偏振分光棱镜组件，三组角锥棱镜组件和两组沃拉斯顿棱镜组件，所述四组分光组件均由一三角棱镜组件和一平行四边形棱镜组件组成，所述平行四边形棱镜组件的其中一个斜面与所述三角棱镜组件的一个侧面用物理方法或其它方法胶合，所述三角棱镜组件和所述平行四边形棱镜组件的紧邻面均设置一消偏振分光膜，所述平行四边形棱镜组件反射光面镀高反膜，其他工作面镀抗反射膜，所述四组分光组件的设置的所述消偏振分光膜的消偏振分光膜比分别为4：1，3：1，2：1，1：1。