| 摘要 |
스테이지 (RST) 를 구동하는 4 개 Y 리니어 모터 (36 ∼ 39) 가, 4 개의 고정자부 (36 ∼ 39) 와 6 개의 가동자부 (24 ∼ 29) 를 포함한다. 여기서, 가동자부 (25) 는 Y 리니어 모터 (36, 37) 에, 가동자부 (28) 는 Y 리니어 모터 (38, 39) 에 의해 공용되고 있다. 이 때문에, 레티클 스테이지 장치의 가동부 (레티클 스테이지 (RST)) 가 경량화되어, 그 고가속도화가 가능해진다. 또, 가동자 (30A, 30B) 각각의 Z 축 방향 중앙에 위치하는 가동자부 (25, 28) 는, 레티클 스테이지 (RST) 의 중립면에 일치하고 있다. |
