具有规则布置场电极结构和终端结构的半导体器件

摘要

本发明涉及具有规则布置场电极结构和终端结构的半导体器件。半导体器件（500）包括规则地布置在单元区域（610）中的行中并形成规则图案的第一部分的场电极结构（160）。终端结构（180）在围绕单元区域（610）的内边缘区域（691）中形成，其中终端结构（180）的至少部分形成规则图案的第二部分。单元台面（170）使场电极结构（160）的相邻场电极结构在单元区域（610）中彼此分离并包括漂移区（121）的第一部分（121a），其中施加到栅电极（150）的电压控制穿过单元台面（170）的电流流动。至少一个掺杂区（186）在内边缘区域（691）中与漂移区（121）形成同质结。

主权项

一种半导体器件，包括：场电极结构（160），其被规则地布置在单元区域（610）中并形成规则图案的第一部分；终端结构（180），其在围绕所述单元区域（610）的内边缘区域（691）中形成，其中所述终端结构（180）的至少部分形成所述规则图案的第二部分；单元台面（160），其使所述场电极结构（160）的相邻场电极结构在所述单元区域（610）中彼此分离，并包括漂移区（121）的第一部分（121a）；栅电极（150），其中施加到所述栅电极（150）的电压控制穿过所述单元台面（170）的电流流动；以及至少一个掺杂区（186），其在所述内边缘区域（691）中与所述漂移区（121）形成同质结。