一种涌动式电极制作系统

摘要

本发明公开了一种涌动式电极制作系统，包括反应系统和循环系统，所述反应系统包括外槽、设于所述外槽内的内槽和涌动装置，所述循环系统包括穿过所述外槽后连通所述内槽底部的进液管、连通外槽底部的出液管以及连接在所述进液管和所述出液管之间的动力装置；所述涌动装置设于所述内槽内，包括用于在所述内槽内的液体没过电极后自所述出液管一侧朝所述进液管一侧传送电极的搬运装置。本发明的电极制作系统并不使用传统的喷头对电极表面喷射化学液，而是将液体浸过电极产品并利用不断循环涌动的液体对电极表面进行比较平和的处理，可以实现显影、蚀刻和脱膜各阶段的制作过程，可以用于极细的铜网格线条的制作而不易损坏，很好的提高了产品的良率。

主权项

一种涌动式电极制作系统，其特征在于，包括反应系统(1)和循环系统(2)，所述反应系统(1)包括外槽(11)、设于所述外槽(11)内的内槽(12)和涌动装置(13)，所述循环系统(2)包括穿过所述外槽(11)后连通所述内槽(12)底部的进液管(21)、连通所述外槽(11)底部的出液管(22)以及连接在所述进液管(21)和所述出液管(22)之间的动力装置(23)；所述涌动装置(13)设于所述内槽(12)内，包括用于在所述内槽(12)内的液体没过电极后自所述出液管(22)一侧朝所述进液管(21)一侧传送电极的搬运装置(131)。