一种基于微机械耦合器和间接式功率传感器的风速计

摘要

本发明公开了一种基于微机械耦合器和间接式功率传感器的风速计，该传感器包括衬底，共面波导传输线、微机械耦合器以及间接式功率传感器部分。共面波导传输线生长在衬底表面，悬臂梁耦合器悬于共面波导传输线的信号线上方，中间为绝缘介质层和空气，与共面波导的信号线形成微机械耦合器。悬臂梁的锚区位于另外一段共面波导的中心信号线上，将耦合的微波功率传输到利间接式功率传感器，最终通过间接式功率传感器的直流输出电压计算出风速大小。

主权项

一种基于微机械耦合器和间接式功率传感器的风速计，其特征在于：包括衬底(1)、共面波导传输线、微机械耦合器以及间接式功率传感器部分；其中，所述共面波导传输线包括生长在衬底(1)表面上的第一信号线(2)、第二信号线(9)以及第一地线(3)，所述第二信号线(9)和第一地线(3)分设于第一信号线(2)的两侧，第二信号线(9)垂直第一信号线(2)并与第一信号线(2)之间留有间隙，第一地线(3)平行第一信号线(2)并与第一信号线(2)之间留有间隙；所述共面波导传输线还包括分别位于所述第二信号线(9)两侧的第二地线(4)和第三地线(5)；所述微机械耦合器部分包括悬臂梁(7)，所述悬臂梁(7)的锚区(8)设置在第二信号线(9)上靠近所述第一信号线(2)的一侧，悬臂梁(7)垂直所述第一信号线(2)并与第一信号线(2)上方形成翘曲，第一信号线(2)上正对所述翘曲位置覆盖有绝缘介质(6)，所述翘曲在风力的作用下能够改变相对第一信号线(2)的距离；所述悬臂梁(7)的锚区(8)通过第二信号线(9)连接所述间接式功率传感器部分，所述间接式功率传感器部分用于检测所述微机械耦合器部分与共面波导传输线之间的耦合功率。