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发明名称
酸化マグネシウム薄膜の製造方法
摘要
申请公布号
JP5881475(B2)
申请公布日期
2016.03.09
申请号
JP20120047615
申请日期
2012.03.05
申请人
タテホ化学工業株式会社
发明人
北垣 昌規
分类号
C01F5/06;H01J9/02;H01L21/316
主分类号
C01F5/06
代理机构
代理人
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