磁控管源及制造方法

摘要

一种磁控管源包括一具有溅镀面及背面的靶材(39)。以驱动方式沿着该靶材(39)的背面移动一磁铁配置(30、32、19a、19b)。在该磁铁配置的一外环路(30)与一内环路(32)之间产生一隧道状磁控管磁场。在该整体配置的外及内环路(30、32)之间的中间空间中提供该磁铁配置的狭长可枢转或可旋转永久磁铁配置(19a、19b)。

主权项

一种磁控管源，包括一具有溅镀面及背面的靶材，永久磁铁的磁铁配置沿着该背面，该磁铁配置包括外磁铁配置：其沿着一外几何框形或环形轨迹的主要部分配置，且具有一面对该背面的型态的磁极；及内磁铁配置，其沿着该外几何框形或环形轨迹内的一内几何框形或环形轨迹的主要部分配置，且具有面对该背面的其它型态磁极，该外几何框形或环形轨迹及该内几何框形或环形轨迹界定一中间空间，该外及内磁铁配置沿着该溅镀面产生一沿着由该内几何框形或环形轨迹及该外几何框形或环形轨迹所界定的环路的隧道状磁控管磁场，该磁铁配置可以驱动方式沿着及相对于该靶材的背面移动，其特征在于：该磁铁配置包括至少一狭长永久磁铁配置，其沿着一平行于该背面的轴线延伸及与该中间空间对齐，该狭长永久磁铁配置是以可控制驱动方式以该轴线为中心枢转或旋转及包括沿着且相对于该轴线放射状地配置的永久磁铁偶极。