发明名称 |
膜形成用组合物及其膜、以及使用其的有机半导体元件的制造方法 |
摘要 |
本发明的膜形成用组合物包含:含有通式(1)表示的重复单元的氟树脂、以及氟系溶剂。(R<sup>1</sup>各自独立地为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基。R<sup>2</sup>各自独立地为碳数1~15的直链状、碳数3~15的支链状或碳数3~15的环状的含氟烃基,烃基中的氢原子可以被氟原子取代,重复单元中包含至少1个氟原子。)该组合物能够在有机半导体膜上形成膜,在光刻法等中得到有机半导体的精致的图案时,对蚀刻溶剂具有耐性,在有机半导体元件的制造方法中是有用的。<img file="DDA0000910038190000011.GIF" wi="420" he="365" /> |
申请公布号 |
CN105393341A |
申请公布日期 |
2016.03.09 |
申请号 |
CN201480041085.6 |
申请日期 |
2014.07.14 |
申请人 |
中央硝子株式会社 |
发明人 |
照井贵阳;小森谷治彦;小林史人;原由香里;原育成 |
分类号 |
H01L21/47(2006.01)I;C08K5/02(2006.01)I;C08K5/06(2006.01)I;C08L27/12(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/308(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L51/05(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H01L21/312(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/47(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种膜形成用组合物,其为用于在有机半导体膜上形成氟树脂膜的膜形成用组合物,其包含:含有通式(1)表示的重复单元的氟树脂、以及氟系溶剂,<img file="FDA0000910038160000011.GIF" wi="421" he="365" />式(1)中,R<sup>1</sup>各自独立地为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基,R<sup>2</sup>各自独立地为碳数1~15的直链状、碳数3~15的支链状或碳数3~15的环状的含氟烃基,烃基中的氢原子可以被氟原子取代,重复单元中包含至少1个氟原子。 |
地址 |
日本山口县 |