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发明名称 POLISHING PAD AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
摘要 연마포 기체에 폴리우레탄 수지 및 실리콘 카바이드를 함침시켜 이루어지는 수지 함유 연마포를 포함하는 연마 패드이며, 상기 실리콘 카바이드의 입경이 0.2 내지 3.0㎛의 범위 내이고, 또한 상기 실리콘 카바이드가, 수지 함유 연마포 중에, 연마포 기체 100질량부에 대해, 60 내지 500질량부의 범위 내에서 포함되는 상기 연마 패드.
申请公布号 KR20160027084(A) 申请公布日期 2016.03.09
申请号 KR20167002492 申请日期 2014.07.01
申请人 FUJIBO HOLDINGS, INC. 发明人 KASHIWADA HIROSHI;KOIKE KENICHI;TOKUSHIGE SHIN
分类号 H01L21/304;B24B37/24;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/322 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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