| 摘要 |
조사 불균일이나, 조사 위치나 포커스 위치의 어긋남을 방지할 수 있는 광조사 장치로 하는 것을 과제로 하며, 이를 위해, 유로(11)에 존재하는 시료 A에 지향성(指向性) 광을 조사하는 광조사 장치로서, 상기 지향성 광 L13을 조사하는 광원(13)과, 상기 시료 A에 광원(12)으로부터 광조사를 해서 상기 유로(11)내에서의 상기 시료 A의 위치 정보를 얻고, 상기 위치 정보에 의거해서 상기 지향성 광 L13의 조사를 제어하는 조사 제어 수단을 적어도 구비한 광조사 장치(1)로 하는 것을 특징으로 한다. |
