| 摘要 |
보관 및 이송 용기가 세정 후 기판을 보관 및 이송 시 고집적화 공정에 악영향을 주는 산화의 요인인 잔존하는 습기를 제거하는 퍼지장치를 제시한다. 그 장치는 세정된 보관 및 이송용기의 본체와 커버를 분리 퍼지하고, 결합하여 충진하는 퍼지 장치로서, 보관 및 이송용기의 본체 및 커버를 로딩하여 안착시키는 퍼지용 박스 몸체 및 몸체의 좌측 또는 우측에 마련되고 보관 및 이송용기의 본체 및 커버를 결합시키는 도킹 유닛을 포함하고, 보관 및 이송용기의 본체 및 커버를 퍼지시키는 퍼지 노즐이 형성된 퍼지 박스와 퍼지 노즐에 공급되는 불활성 가스의 온도를 일정하게 유지시키는 인라인히타를 포함하고 불활성 가스를 외부로 배출하는 진공펌프를 포함한다. |
