成膜装置

摘要

本发明提供一种在真空槽内，一边运送薄膜一边以高的成膜速度在薄膜上形成均匀的膜厚的有机化合物膜的技术。在真空槽（2）内，将从原料卷材（41）上送出的薄膜（10）与滚筒（3）相接触地运送，在薄膜（10）上形成有机化合物膜。具有蒸汽排放装置（8）和能量线射出装置（9），所述蒸汽排放装置（8）配置在设在真空槽（2）内的成膜室（6）内，具有排放有机化合物单体的蒸汽并向滚筒（3）上的薄膜（10）吹喷的蒸汽排放部（82），所述能量线射出装置（9）相对于形成在滚筒（3）上的有机化合物单体层照射能量线，使有机化合物单体层硬化。蒸汽排放装置（8）以及成膜室（6）分别与能够独立控制的第5以及第3真空排气装置（80、60）相连，使蒸汽排放装置（8）内的圧力比成膜室（6）内的圧力大，且使蒸汽排放装置（8）内的圧力与成膜室（6）内的圧力的差为一定。

主权项

一种成膜装置，在真空槽内，将从原料卷材上送出的薄膜与中央滚筒相接触地运送，在该薄膜上形成有机化合物膜，其特征在于，具有蒸汽排放装置和能量线射出装置，所述蒸汽排放装置配置在设在前述真空槽内的成膜室内，具有排放有机化合物的蒸汽并向前述中央滚筒上的薄膜吹喷的蒸汽排放部，所述能量线射出装置相对于形成在前述中央滚筒上的有机化合物层照射能量线，使该有机化合物层硬化，前述蒸汽排放装置以及前述成膜室分别与能够独立控制的真空排气装置相连，并且进行真空排气，使前述蒸汽排放装置内的压力比前述成膜室内的压力大，且使前述蒸汽排放装置内的压力与前述成膜室内的压力的差为一定。