| 发明名称 | 含酚羟基的化合物、感光性组合物、抗蚀剂用组合物、抗蚀剂涂膜、固化性组合物、抗蚀剂下层膜用组合物、及抗蚀剂下层膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供耐热性优异的含酚羟基的化合物；耐热分解性、感光度以及分辨率优异的抗蚀剂用组合物；以及耐热分解性和干蚀刻耐性优异的抗蚀剂下层膜用组合物。一种含酚羟基的化合物，其特征在于，具有下述结构式(1)表示的分子结构。(式中，R<sup>1</sup>为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R<sup>2</sup>为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任一种，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R<sup>2</sup>任选各自相同或不同，并任选与萘骨架的2个芳香环之中的任意一个键合)。<img file="DDA0000910088400000011.GIF" wi="1228" he="471" /> | ||
| 申请公布号 | CN105392765A | 申请公布日期 | 2016.03.09 |
| 申请号 | CN201480041092.6 | 申请日期 | 2014.06.12 |
| 申请人 | DIC株式会社 | 发明人 | 今田知之;佐藤勇介;木本诚二 |
| 分类号 | C07C39/14(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I;G03F7/11(2006.01)I | 主分类号 | C07C39/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种含酚羟基的化合物，其特征在于，具有下述结构式(1)表示的分子结构，<img file="FDA0000910088370000011.GIF" wi="1229" he="469" />式(1)中，R<sup>1</sup>为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数，R<sup>2</sup>为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中的任一种，m为0～4的整数，m为2以上时，多个R<sup>2</sup>任选各自相同或不同，并任选与萘骨架的2个芳香环之中的任意一个键合。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||