防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置

摘要

本实用新型公开一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置包括密封腔体，以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材，所述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与卷取辊之间的下方。本实用新型在现有技术的基础上通过对溅射主辊内部设水循环系统，使溅射主辊和第一收料导辊与地线相连接，在卷取辊旁设一除静电装置，增加张力摆辊和展平辊等技术改良，有效地减少热损伤、变形、电击人体等现象的发生，使ITO薄膜的生产过程更加安全、高效，其产品更加美观，提高优品率。

主权项

一种防止成膜热损伤的卷取式ITO成膜装置，其特征在于：包括密封腔体，以及设置于密封腔体内的放料辊、卷取辊、溅射主辊、靶材，所述放料辊及卷取辊分别位于密封腔体内两侧，所述溅射主辊处于放料辊与卷取辊之间的下方，所述溅射主辊内部为中空结构，内部设有冷却系统。