一种应用于半导体设备的气弹簧安装支座

摘要

一种应用于半导体设备的气弹簧安装支座，包括固定座和安装座，两者通过气弹簧连接。所述的固定座上设有一个滑道和三个固定孔，三个固定孔呈等腰直角形分布在挡板上面的三个角上，滑道设置在另一个角上。安装座上横向排列的两个固定孔，气弹簧安装螺纹设置在固定孔之间。气弹簧一端与气弹簧安装螺纹连接，另一端与滑道连接。本实用新型提供一种能够在半导体等离子体处理装置中实现开关腔操作更加轻便、灵活，并且能够节约空间的气弹簧支座。

主权项

一种应用于半导体设备的气弹簧安装支座，其特征在于：包括固定座和安装座，两者通过气弹簧连接；所述的固定座上设有一个滑道和三个固定孔，三个固定孔呈等腰直角形分布在挡板上面的三个角上，滑道设置在另一个角上；安装座上横向排列的两个固定孔，气弹簧安装螺纹设置在固定孔之间；气弹簧一端与气弹簧安装螺纹连接，另一端与滑道连接。