开放式销用支板

摘要

开放式销用支板，主要解决现有的销用支板不能适用两种或两种以上尺寸晶圆的技术问题。该支板主体呈三角形且一个边为开放式结构。上述支板主体的边缘处加工有基准线，支板主体的平面处加工有一般表面，与一般表面相邻处分别制有精加工面。上述支板主体的三个角上分别制有顶销位置。支板主体的顶角上制有通孔，与升降机构运动部件连接，支板主体的顶角上还制有销孔，销孔用于确保连接精度。上述支板主体采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷强度高，高温变形小等优势。本发明可将多种规格的晶圆顶升位置集成在一个支板上，其特点还在于同一个支架可用于多种晶圆尺寸的顶升销，节省了设备转型的维护成本，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

主权项

一种开放式销用支板，其特征在于：支板主体呈三角形且一个边为开放式结构，上述支板主体的边缘处加工有基准线(2)；支板主体的平面处加工有一表面(3)，与一表面(3)相邻处分别制有精加工面A(5‑1)、精加工面B(5‑2)及精加工面C(5‑3)，上述支板主体的三个角上分别制有顶销位置A(4)、顶销位置B(6)、顶销位置C(7)、顶销位置D(8)、顶销位置E(9)及顶销位置F(11)，上述支板主体的顶角上制有通孔(1)，与升降机构运动部件连接，支板主体的顶角上还制有销孔(10)。