| 发明名称 | 用于制备纳米涂层粒子的流化床原子层沉积设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了用于制备纳米涂层粒子的流化床原子层沉积设备。根据本发明的一实施例的流化床原子层沉积设备，其特征在于，包括：流化床反应器，其内部注入被涂覆粒子；反应物供给单元，其向所述流化床反应器的内部供给用于对所述被涂覆粒子进行涂层的反应气体；及振动泵，其结合于所述流化床反应器使得将所述反应气体能够通过所述振动泵，向所述反应气体施加有规则的振动而在所述流化床反应器的内部形成湍流。 | ||
| 申请公布号 | CN105392918A | 申请公布日期 | 2016.03.09 |
| 申请号 | CN201480040383.3 | 申请日期 | 2014.07.15 |
| 申请人 | 光州科学技术院 | 发明人 | 李在永;郑尚淏;李在光;朱亨国;金镇园 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 谢鑫;肖冰滨 |
| 主权项 | 一种流化床原子层沉积设备，其特征在于，包括：流化床反应器，其内部注入被涂覆粒子；反应物供给单元，其向所述流化床反应器的内部供给反应气体，该反应气体用于对所述被涂覆粒子进行涂层；及振动泵，结合于所述流化床反应器使得将所述反应气体通过所述振动泵，其向所述反应气体施加有规则的振动而在所述流化床反应器的内部形成湍流。 | ||
| 地址 | 韩国光州 | ||