原料的汽化供给装置

摘要

本发明是不管是固体原料还是液体原料，都能够正确地调整载体气体与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且在高精度的流量控制下向处理腔稳定地进行供给，并且能够容易地进行过原料的余量管理的汽化供给装置，包括下列部分构成：流路(L1)，其将来自载体气体供给源的载体气体向源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路(L1)，将源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路(L2)，其向处理腔供给在所述空间部生成的原料蒸汽与载体气体的混合气体；流量控制装置，其间置于该流路(L2)，将混合气体的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将源储罐和流路(L1)以及流路(L2)加热为设定温度，该汽化供给装置为将所述空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体的构成。

主权项

一种原料的汽化供给装置，其特征在于，包括下列部分：载体气体供给源；源储罐，其储集原料；流路L₁，其将来自载体气体供给源的载体气体G₁向所述源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路L₁，将所述源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路L₂，其从所述源储罐的内部上方空间部将作为由原料生成的原料蒸汽与载体气体的混合体的混合气体G₀向处理腔供给；流量控制装置，其间置于该流路L₂，将向处理腔供给的混合气体G₀的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将所述源储罐和流路L₁以及流路L₂加热为设定温度，所述原料的汽化供给装置为将源储罐的内部上方空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体G₀的构成，从源储罐的内部上方空间向处理腔供给混合气体G₀的流量控制装置由控制阀CV₂、设于其下游侧的温度检测器T以及压力检测器P、设于压力检测器P的下游侧的孔口、将使用所述压力检测器P的检测值而运算的混合气体G₀的流量与预先设定的混合气体流量对比并输出向两者之差变少的方向对控制阀CV₂进行开闭控制的控制信号Pd的运算控制部、和将混合气体所流动的流通路加热至既定温度的加热器构成。