加热盘水平测量工装结构

摘要

加热盘水平测量工装结构，包括：定位基座、紧固数显千分表螺栓、固定架、定位销、紧固螺栓及数显千分表。所述定位基座放置在反应腔上，定位基座圆盘下表面与反应腔上的定位基准重合，使得基准下移至定位基座三个千分表的定位孔上。所述定位基座千分表定位孔能保证三个数显千分表在同一水平面测量，并且以120°的角度均布在加热盘表面。其测量方法是通过定位基座与固定架的配合，完成数显千分表的水平定位、夹紧及测量位置定位，调整加热盘使得三个数显千分表读数相同，此时加热盘水平。其结构合理，操作方法简便，有效提高加热盘上表面水平调整的工作效率。可广泛应用于半导体镀膜设备技术领域。

主权项

加热盘水平测量工装结构，包括数显千分表，其特征在于：它还包括定位基座、紧固数显千分表螺栓、固定架、定位销、紧固螺栓，所述定位基座放置在反应腔上，定位基座圆盘下表面与反应腔上的定位基准重合，使得基准下移至定位基座三个千分表的定位孔上；所述定位基座的千分表定位孔能保证三个数显千分表在同一水平面测量，并且以120°的角度均布在加热盘表面，通过定位销将固定架放置在定位基座上，并用紧固螺栓将固定架紧固在定位基座上，数显千分表放置在定位基座与固定架上并通过紧固数显千分表螺栓拧紧缩小固定架上的圆弧，完成数显千分表的夹紧。