| 摘要 |
가스 분배 조립체용 장치 및 방법이 제공된다. 일면에서, 내경에 위치된 내측 환형 벽, 외경에 위치된 외측 벽, 상부면 및 바닥면을 갖는 환형 링; 상기 상부면의 내측에 형성된 상부 리세스; 상기 내측 환형 벽의 반경 방향으로 외측에 형성된 립; 및 상기 내측 환형 벽의 내측에 형성된 시트;를 포함하는 환형 본체와, 상기 상부 리세스 내에 위치된 상부 판으로서, 관통 형성된 복수의 제 1 구멍을 갖는 디스크형 본체로서, 상기 제 1 구멍들이 상기 본체의 표면을 넘어 연장함으로써 상승된 원통형 본체들을 형성하는 디스크형 본체를 포함하는, 상부 판, 및 상기 시트 상에 위치되는 바닥 판으로서; 상기 제 1 구멍과 정렬되도록 관통 형성된 복수의 제 2 구멍을 갖는 디스크형 본체; 및 상기 제 2 구멍들 사이에 형성되며 상기 바닥 판을 통해 형성되는 복수의 제 3 구멍으로서, 상기 바닥 판이 상기 상부 판에 밀봉되게 연결됨으로써 상기 복수의 제 1 및 제 2 구멍들을 상기 복수의 제 3 구멍으로부터 유동적으로 격리시키는 복수의 제 3 구멍;을 포함하는, 바닥 판을 포함하는 가스 분배 조립체가 제공된다. |
