一种复合纳米压印软模板

摘要

本实用新型公开了一种复合纳米压印软模板，具体制备为先制备由PDMS树脂层组成的弹性层，再制备由UV树脂层组成的硬质层，然后将弹性层覆于硬质层之上，固化后得到复合纳米压印软模板。本实用新型采用多层递进变化方法制备的复合纳米压印软模板，既可以获得较高硬度的结构层，又可以解决高硬度层脱落和开裂的问题；并且制备工艺简易、成本低，适于工业化生产。

主权项

一种复合纳米压印软模板，包括弹性层与硬质层，其特征在于：所述弹性层位于硬质层上方；所述弹性层由至少2层PDMS树脂层构成；所述硬质层由至少2层UV树脂层构成；所述弹性层中，PDMS树脂层的弹性模量自下而上逐层递减；所述硬质层中，UV树脂层的硬度自下而上逐层递减；所述弹性层的厚度为0.2mm～10mm；所述硬质层的厚度为40nm～100μm。