一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量方法和装置

摘要

本发明公开了一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量方法，包括二分之一波片处于被测件上的第一位置时，将线偏光入射到与被测件滑动配合的二分之一波片内，透过二分之一波片的线偏光经四分之一波片形成椭偏光，所述椭偏光再照射到旋转的检偏器上，分析检偏器出射光束的光强变化得到第一椭偏度；将二分之一波片移至第二位置，根据与第一椭偏度同样的方法得到第二椭偏度，比较分析第一椭偏度和第二椭偏度，得到被测件的第一位置和第二位置之间的滚转角误差。本发明还公开了一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量装置。

主权项

一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1)二分之一波片处于被测件上的第一位置时，线偏光入射到二分之一波片，透过二分之一波片的线偏光经四分之一波片形成椭偏光，所述椭偏光再照射到旋转的检偏器上，分析检偏器出射光束的光强变化得到第一椭偏度；所述的线偏光与二分之一波片的快轴夹角为0°，所述四分之一波片的快轴与二分之一波片的快轴平行；2)二分之一波片沿被测件滑动至第二位置时，线偏光入射到二分之一波片，透过二分之一波片的线偏光经四分之一波片形成椭偏光，所述椭偏光再照射到旋转的检偏器上，分析检偏器出射光束的光强变化得到第二椭偏度；3)比较分析第一椭偏度和第二椭偏度，得到被测件的第一位置和第二位置之间的滚转角误差。