发明名称 防篡改集成电路
摘要 根据本发明的一个方面,构想了一种包括物理不可克隆功能的集成电路,在所述集成电路的钝化层中至少部分地实现所述物理不可克隆功能。根据本发明的另一方面,构想了一种用于制造集成电路的相应方法。根据本发明的另一方面,构想了一种包括所述类型集成电路的电子设备。
申请公布号 CN103426778B 申请公布日期 2016.03.09
申请号 CN201310175059.X 申请日期 2013.05.13
申请人 NXP股份有限公司 发明人 森克·奥斯特敦;迈克尔·齐恩曼
分类号 H01L21/56(2006.01)I;H01L23/58(2006.01)I 主分类号 H01L21/56(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王波波
主权项 一种用于制造集成电路(100)的方法,所述方法包括在所述集成电路(100)的钝化层(102)中至少部分地实现物理不可克隆功能PUF,其特征在于:(a)提供基本结构,所述基本结构包括用于外部连接的焊盘(106)、内部连接(108)和PUF检测器连接(110);(b)用光致抗蚀剂层(200)覆盖除了PUF检测器连接(110)之外的所述基本结构;(c)将导电粒子随机地分布在经(b)所得到的整个表面上,随机分布的所述导电粒子实现所述物理不可克隆功能PUF;(d)去除所述光致抗蚀剂层(200),使得仅有实质上在所述PUF检测器连接(110)上的粒子保留在所述表面上;(e)将所述钝化层(102)沉积在除了用于所述外部连接的焊盘(106)之外的所有元件上。
地址 荷兰艾恩德霍芬