| 摘要 |
전자 부품 또는 디스플레이를 제조하기 위해 이용된 기판용 운송 장치(5)가 공개된다. 상기 운송 장치(5)는 기판을 공정 스테이션(4)으로 이송하기 위해 이용되며, 기판 운송 박스(2)에 대해 오버헤드 이송 시스템(1)으로의 제 1 공급/배출 인터페이스(7) 및 공정 스테이션(4)에 대한 제 2 공급/배출 인터페이스(26)를 포함한다. 제 1 인터페이스(7)는 수직 방향에 대해 제 2 인터페이스(26) 위에 위치된다. 이송된 기판들이 운송 박스(2) 내에서 기판을 이송하기 위해 상호연결된 제조 플랜트 내에서 공정 스테이션(4)으로 이송되도록 상대적으로 큰 유연성을 가진 운송 장치(5)를 제공하기 위하여 상기 운송 장치(5)는 운송 장치(5) 내에 배열되는 핸들링 메커니즘(12)의 도움으로 운송 박스(2) 없이 한 인터페이스(7)로부터 그 외의 다른 인터페이스(26)로 기판이 이송될 수 있는 수단(24, 25, 27)을 포함한다. |
